X射线光电子能谱仪

发布者：lhcszx发布时间：2020-05-28阅读量：4372

仪器名称
 X射线光电子能谱仪

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型号规格
 AXIS SUPRA
国别厂家
 日本岛津
安置地点
江西师范大学瑶湖校区方荫楼4区-210
管理人员
李章敏 马光冉
联系电话
 0791-88121884
主要参数： 
XPS灵敏度

≥150 kcps

最小分析直径

15 μm

成像分辨率

≤1 μm

刻蚀能量范围

500 eV ~ 5 keV（单Ar模式）；5 keV ~ 20 keV（团簇模式）

ISS能量分辨率

＞12 eV（Au）

ISS灵敏度

≥1.2*104 kcps/nA

 应用领域：

主要用于表面化学组成及化学态、表面化学图像、微区定性、半定量分析、样品深度剖析、表面理论等研究，可进行XPS常规谱图、XPS成像、样品表面清洁、样品深度刻蚀、角分辨测试（ARXPS）、离子散射谱（ISS）、紫外光电子能谱（UPS）等测试。