离子溅射仪（E-1010）主要用在扫描电镜的样品预处理中，给样品表面镀金，改善样品的导电性。近来经常发生报错（代码E22）不能正常镀金情况，需要进行维护。

一、清洁样品仓

    仪器使用中会有污染物沉积到样品仓内壁上，一般使用前用干净的布或纸擦拭，再用洗耳球吹净。仪器使用时间长了，有很多金颗粒附在内壁下沿，很难擦除，可以用些金属抛光膏涂在样品仓内，再用纸反复擦拭，就比较容易清理，然后再用酒精清理。

二、调真空度

    如果清理了样品仓内壁还总是报错，要注意仪器的真空度。通常镀金时仓内压力在7Pa左右，压力在6Pa或更小就容易报错。放好样品，盖上样品仓，启动镀金，观察仪器面板上的压力变化，等仪器正面第二个指示灯（调整真空度）闪动时，调整下面的旋钮，往顺时针压力增大，逆时针压力减小，根据需要仔细调到7Pa附近即可，这样仪器就可以正常镀金了。